产品介绍

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OPUS3

Opus3是市场上唯一一个能处理6,8英寸,12英寸SEMI标准晶圆的处理器,没有任何更换套件。 它紧凑,具有较高的接触/探准确度,快速的指标时间,高吞吐量。 可以装入万能探头卡。

容貌

. 空间效率的压缩尺寸
· 通用探头卡交换器 · 可靠的温度控制
· 坚固和坚固的Z结构
· 地图转换预防
· 实时食谱验证
· 智能针定位算法
· 智能探路算法
· 适用于最聪明的脚印 的平装机
· 与所有类型测试器兼容

规格说明

名称 Opus3
晶片尺寸 8 & 12 inch(6”option)
X,Y探矿区 X : ±175mm
Y : ±165mm
针力 300Kg
XY精度 X : ±1㎛
Y : ±1㎛
三殿 环境至 150°C(200°C)
-55℃ ~ 200℃
环境 25°C

京畿道广州市昆池岩邑京忠大路732-37
TEL +82-31-697-6600 Fax : +82-31-798-3234
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